等離子清洗機(jī)的工藝氣體是影響到工藝參數(shù)中的重要部分，最后的處理結(jié)果也與它息息相關(guān)，那么等離子清洗機(jī)對(duì)氣路的控制、維持工藝氣體穩(wěn)定是怎么做到的呢？

等離子清洗機(jī)通入的氣體通常都是潔凈度相對(duì)較高的工藝氣體，所以氣體調(diào)壓及處理組件基本結(jié)構(gòu)多為調(diào)壓閥和過濾器組成。其主要作用是將氣壓控制在所需壓力范圍內(nèi)及過濾氣體中可能含有的雜質(zhì)，以保證后端流量計(jì)等組件的運(yùn)行穩(wěn)定性和氣體潔凈度。目前真空等離子清洗機(jī)的常用的氣體調(diào)壓及處理組件按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為組合式和一體式兩種。

而為了實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子清洗機(jī)的氣體壓力是否符合工作要求，在氣體調(diào)壓閥上都會(huì)安裝帶報(bào)警輸出功能的壓力表，在壓力過低時(shí)輸出報(bào)警信號(hào)，以保證設(shè)備和正常運(yùn)行及工藝氣體的穩(wěn)定。帶報(bào)警輸出的減壓表分為指針式和數(shù)顯示兩種。

等離子清洗機(jī)在工作時(shí)需維持工藝要求的真空度及真空腔體的密封，因此其連接腔體的各氣路閥門必須滿足真空密封要求，我們應(yīng)該選擇相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。真空等離子清洗機(jī)為保證運(yùn)行穩(wěn)定性，都是一個(gè)真空電磁閥控制一路氣體，所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式。

等離子清洗機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所控制的，其原理是通過調(diào)節(jié)通入氣體閥門的大小來實(shí)現(xiàn)通流量的控制，等離子清洗機(jī)使用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器（MFC）兩種。

氣體浮子流量計(jì)是通過手動(dòng)調(diào)整開啟閥門的大小來實(shí)現(xiàn)氣體流量控制，閥門開啟后會(huì)受氣體壓力變化、震動(dòng)等多因素影響而造成實(shí)際通入氣體流量浮動(dòng)范圍大，不適用于對(duì)工藝氣體流量要求嚴(yán)格的等離子清洗機(jī)。

質(zhì)量控制器一般都是自動(dòng)對(duì)工藝氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，保證等真空離子清洗機(jī)處理工藝的穩(wěn)定；對(duì)于部分腐蝕性氣體或其他特殊氣體也可以實(shí)現(xiàn)精確控制。

最后，等離子清洗機(jī)的氣體各控制組件及進(jìn)氣的順序會(huì)先通過過濾器，再通過調(diào)壓閥帶報(bào)警輸出壓力表，接著是真空電磁閥，最后是質(zhì)量控制器。

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