不同于物質(zhì)中的固體、液體、氣體、等離子的存在是區(qū)別于以上三種的另一種物質(zhì)聚集態(tài)，人們稱之為物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)。

1、什么是等離子？

它由電離的導(dǎo)電氣體組成，其中包括六種典型的粒子，即電子、正離子、負(fù)離子、激發(fā)態(tài)的原子或分子、基態(tài)的原子或分子以及光子。

2、等離子清洗機(jī)的工作原理

在真空狀態(tài)下，壓力越來(lái)越小，分子間間距越來(lái)越大，分子間力越來(lái)越小，利用射頻源產(chǎn)生的高壓交變電場(chǎng)將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的離子，然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去，從而達(dá)到表面清潔、活化等目的。

3、相比較傳統(tǒng)清洗工藝等離子清洗機(jī)有什么優(yōu)勢(shì)？

相比較傳統(tǒng)清洗工藝，等離子清洗機(jī)不會(huì)改變基體固有性能，改性作用僅僅發(fā)生在表面，約幾到幾十個(gè)納米。如半導(dǎo)體納米蝕刻。等離子清洗機(jī)的處理過(guò)程全程干燥，不需要溶解劑和水，幾乎不會(huì)產(chǎn)生污染，所以等離子清洗不僅節(jié)約能源、還能夠降低成本。等離子清洗作用時(shí)間短，反應(yīng)速率高，加工對(duì)象廣，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有很大的提升。等離子清洗的工藝簡(jiǎn)單、操作方便，生產(chǎn)可控性強(qiáng)，產(chǎn)品一致性好。等離子清洗技術(shù)使用中對(duì)使用者的身體不會(huì)造成傷害，屬于一種健康型工藝。

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