在等離子清洗機的真空泵如果沒有特殊要求，大多會選配旋片式油泵。而旋片式油泵的工作原理是利用機械方法對真空反應腔體進行抽氣，當抽到能滿足等離子放電的真空度時，就能維持工藝氣體的進入和等離子反應副產物的去除，以保證等離子放電的穩(wěn)定性。

掌握了正確的方法，等離子清洗機的油式真空泵的維護保養(yǎng)其實很簡單。這里我們?yōu)榇蠹艺砹艘恍┑入x子清洗機油泵的拆解流程。

第一步先要將真空泵儲油箱拆解，在拆解時真空泵油箱前先將真空泵油放出，用內六角扳手將放油口螺絲擰下，將真空泵內的真空油排盡。之后便要用內六角扳手將真空泵油箱的緊固螺絲拆除，并且需要注意拆解儲油箱時不要損壞儲油箱密封墊。

另外我們還需要知道手套、口罩和裝廢油的袋子，是維護真空泵前三種必備的小東西。不同的行業(yè)和產品，等離子清洗形成的廢氣和真空泵油反應會生成各種臟污，尤其要注意是否有腐蝕性和毒性的氣、液體，以免對人體造成傷害。

接著我們便要對真空泵排氣閥進行拆解了，我們先要將排氣閥片護蓋拆除，折下保護蓋的堅固螺絲，取下保護蓋，注意不要損壞密封圈，然后再拆解排氣閥片壓板以及拆解排氣閥片。

然后便是拆解真空等離子清洗機的真空泵轉子，我們需要將轉子的緊固螺絲拆除，并且拆除小旋片蓋板，同時檢查小旋片磨損情況，并將二級轉子缸室拆解后，檢查二級旋片磨損情況，注意檢查油路是否堵塞。

到這里則需要拆解真空等離子清洗機的真空泵止逆閥，在將真空泵進氣口的緊固螺絲拆除，取下進氣口后，注意不要損壞密封圈，然后取下止逆閥的限位卡簧，將止逆閥取出，檢查氣路及油路是否堵塞、檢查止逆閥是否有阻力過大和損壞現(xiàn)象，如止逆閥卡死，拆除時注意不要損傷泵體。

這些便是拆解等離子清洗機當中的真空泵的流程了，通常我們在拆解之后還要對其進行內部清潔、維護設備，保證真空泵能夠使用更長時間，不出問題。若是想要重裝真空泵，我們可以按照拆解的反向順序逐一裝回。