氣體流量是等離子清洗機(jī)處理效果是否穩(wěn)定的技術(shù)參數(shù)的重要參照。不同類型的等離子清洗機(jī)會(huì)使用不同的工藝氣體，并且對(duì)于氣體流量控制器的選擇會(huì)有所不同。我們總結(jié)了一些氣體流量控制器選擇的經(jīng)驗(yàn)分享給大家。

在選擇大氣等離子清洗機(jī)的流量控制器時(shí)，根據(jù)放電形式不同，大氣等離子清洗機(jī)放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型大氣等離子清洗機(jī)，應(yīng)該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會(huì)產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體，以保證設(shè)備的正常運(yùn)行。通常的流量控制方式是以調(diào)壓閥和手動(dòng)浮子流量計(jì)配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩(wěn)定。

大氣等離子清洗機(jī)建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩(wěn)定的工作氣體。此裝置最大的優(yōu)點(diǎn)是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續(xù)穩(wěn)定。

而選擇真空等離子清洗機(jī)的流量控制器時(shí)，則更關(guān)注工藝氣體流量的穩(wěn)定性，它會(huì)影響工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)的處理效果，大多數(shù)工藝都對(duì)氣體流量控制要求非常嚴(yán)格，所以工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)都是選用質(zhì)量流量控制器來實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體流量的控制。在工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)實(shí)際使用過程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器，真空等離子清洗機(jī)常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機(jī)也會(huì)用到0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器注：?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

通入不同的工藝氣體，建議選擇對(duì)應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以保證輸入氣體的穩(wěn)定和計(jì)量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學(xué)特性不同，使用同規(guī)格的質(zhì)量流量控制器會(huì)存在流量誤差和安全隱患。如使用的是常規(guī)工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，只需保證流量穩(wěn)定即可；但是對(duì)于H2、CF4等特殊氣體，易爆易燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。

最后實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)機(jī)，通常對(duì)流量控制要求不是非常嚴(yán)格，純手動(dòng)操作的設(shè)備，也會(huì)選用手動(dòng)浮子流量計(jì)。