在真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔室的材質(zhì)選擇上，常見的材質(zhì)包括石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等，具體選擇在不同行業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域中會(huì)有所區(qū)別。而用于半導(dǎo)體行業(yè)的等離子清洗機(jī)大多采用鋁合金，不知大家是否知道這是為什么，今天我們所要介紹的便與這點(diǎn)有關(guān)。

在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，常使用到利用真空等離子清洗機(jī)清洗、刻蝕的作用，而這就會(huì)對(duì)反應(yīng)腔室的材質(zhì)選擇有著一定的要求，因?yàn)樵谔幚砭A、支架等產(chǎn)品上對(duì)工藝環(huán)境的要求很高，相應(yīng)地對(duì)反應(yīng)腔室的材質(zhì)也有著特定的選擇，若是忽視了等離子的技術(shù)原理和各材質(zhì)間的性質(zhì)，最后的處理結(jié)果也會(huì)有著很大的不同。

而在處理半導(dǎo)體物件的真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)腔室上，都會(huì)選擇鋁質(zhì)的腔體，這大致有以下幾點(diǎn)原因：

1、鋁合金密度低，強(qiáng)度卻高，還超過優(yōu)質(zhì)鋼，并且可以有效降低設(shè)備的整體質(zhì)量，機(jī)械加工性能比較好；

2、鋁合金具有一些金屬通常具備的優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性；

3、鋁合金這一金屬材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等，能夠滿足等離子處理工藝和工業(yè)生產(chǎn)對(duì)于綠色環(huán)保的需求，符合產(chǎn)業(yè)可持續(xù)理念；

4、在表面處理方面鋁合金能起到的作用較為豐富，包括電泳、噴涂、陽(yáng)極氧化等；

5、鋁合金的趨膚深度是不銹鋼的10倍以上，使得在發(fā)生器運(yùn)作后腔體內(nèi)電流分布更均勻，并且腔體不容易發(fā)熱，起到既能保證腔體狀態(tài)穩(wěn)定保證工藝質(zhì)量的作用，相比其他許多金屬又更加安全。

這些便是在實(shí)際使用中之所以選擇鋁合金作為處理半導(dǎo)體產(chǎn)品的真空等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體整體材質(zhì)的重要原因了，在考量中我們處于處理的效率問題、安全問題、環(huán)保問題等方面考慮，最后選擇鋁合金這一優(yōu)質(zhì)金屬材料，這在某種程度上其實(shí)也是我們通過難以計(jì)數(shù)的實(shí)驗(yàn)所總結(jié)出的經(jīng)驗(yàn)來(lái)決定的。