等離子清洗機(jī)是指真空反應(yīng)腔室里面低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)，微觀(guān)上來(lái)講就是腔體內(nèi)的氣體分子密度小于大氣壓的分子密度，不同的真空狀態(tài)意味著不同的分子密度。

壓力單位反應(yīng)真空壓力值的大小，由于歷史和習(xí)慣的原因，不同的國(guó)家和地區(qū)使用的單位有所區(qū)別。

國(guó)內(nèi)外品牌等離子清洗機(jī)比較常見(jiàn)的真空壓力單位有3個(gè)，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面兩個(gè)單位歐美系的品牌比較常見(jiàn)。

2-1 帕斯卡（Pa），簡(jiǎn)寫(xiě)帕，國(guó)際單位制，我國(guó)法定壓力單位，是為紀(jì)念法國(guó)物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。

換算關(guān)系如下：

1 帕（Pa）= 7.5×10-3托（Torr）=10-2毫巴（mbar）

2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 參照國(guó)際單位制（簡(jiǎn)稱(chēng)SI）制訂的中華人民共和國(guó)法定計(jì)量單位規(guī)定壓強(qiáng)單位為Pa(帕），兩種單位之間換算關(guān)系為1托=133.322帕。

換算關(guān)系如下：

1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）

2-3 巴（bar），非法定計(jì)量單位，即1平方厘米的面積上受到100萬(wàn)達(dá)因作用力，壓強(qiáng)就是1巴，合100000帕。

換算關(guān)系如下：

1毫巴（mbar）=7.5×10-1托（Torr）=102帕（Pa）

真空度反應(yīng)的是真空狀態(tài)空間氣體的稀薄程度，通常用氣體壓力值來(lái)來(lái)表示。真空度越高，壓力值越??；真空度越低，壓力值越大。