半導(dǎo)體封裝行業(yè)的連續(xù)式等離子清洗機(jī)，國(guó)內(nèi)常見(jiàn)的是低壓真空等離子清洗機(jī)，常壓大氣等離子清洗機(jī)很少有。今天我們聊到的對(duì)象就是國(guó)產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)，看看在半導(dǎo)體行業(yè)有哪些用途。

國(guó)產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)，主要是由上下料自動(dòng)裝置、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、氣路控制和真空等離子反應(yīng)腔體組成?；竟ぷ髟硎牵岩幚淼漠a(chǎn)品通過(guò)上料裝置傳送到真空反應(yīng)腔體里面，抽真空到一定數(shù)值放電，按預(yù)設(shè)時(shí)間做等離子表面處理，然后恢復(fù)壓力值到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，下料裝置把產(chǎn)品推送到制定的位置。整個(gè)流程大約10多秒到幾分鐘不等，不同工藝、不同廠家的效率會(huì)有所區(qū)別。

國(guó)產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)的類型有很多種，主要是從放電形式和上下料自動(dòng)動(dòng)作來(lái)分的。按照放電形式，可分為PE模式和RIE模式，這是與功率電極的連接、電極結(jié)構(gòu)和產(chǎn)品放置相關(guān)的；按照上下料的方式，有平臺(tái)交互式、抽屜式和一進(jìn)一出式。

國(guó)產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的用途，比較常見(jiàn)的有3個(gè)領(lǐng)域。

1 各種金屬材質(zhì)的引線框架的等離子清洗

需要做等離子清洗機(jī)的引線框架的金屬材質(zhì)包括銅支架、鐵-鎳合金等，焊盤鍍層一般是銀。去除有機(jī)物和微弱的氧化層，對(duì)焊線和封塑都會(huì)有幫助。

2 各種非金屬載板的等離子清洗

比較典型的是IC基板和陶瓷基板，甚至?xí)胁ＡЩ宓龋瑢?duì)于焊盤密集的鍍層面等離子清洗可以提高良率和散熱效果。

3 晶圓表面的等離子清洗

晶圓表面的等離子清洗，主要目的是去除光刻膠殘余物，對(duì)于國(guó)產(chǎn)連續(xù)式真空等離子清洗機(jī)設(shè)備的穩(wěn)定性、均勻性、一致性等無(wú)疑提出更高的要求。