在等離子清洗機(jī)的過程中，其反應(yīng)腔室內(nèi)通過真空泵抽出空氣獲得一定的真空度之后，會(huì)通入一些相關(guān)氣體，并且激發(fā)能量形成等離子體。在設(shè)備運(yùn)作的過程中影響等離子體放電的參數(shù)包括：氣體種類、氣體比例、氣壓、氣源供給、功率、頻率等，其中與等離子體顏色密切相關(guān)的是氣體、氣壓和氣源。

以下是氣體、氣壓和氣源對(duì)真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響：

1、氣體成分對(duì)于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

如氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳等單一氣體，或者這些氣體的混合氣體，最后產(chǎn)生的等離子顏色是不同的。

2、氣壓大小對(duì)于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

在真空等離子清洗機(jī)每一次運(yùn)行中，都會(huì)將反應(yīng)腔室處理成真空狀態(tài)，但是如果在反應(yīng)腔體和管路內(nèi)有殘余的氣體，例如空氣，真空度的不穩(wěn)定就會(huì)影響放電顏色。

3、氣體成分對(duì)于真空等離子清洗機(jī)放電顏色的影響

真空等離子清洗機(jī)的氣源純度，氣瓶殘余氣體成分或多少，是否混入氣體氣體等，都會(huì)影響放電的顏色。

除了這幾個(gè)因素外，經(jīng)由不同氣體電離后的每個(gè)原子的激發(fā)光譜也是不一樣的，這意味著顏色同樣會(huì)發(fā)生變化。而且就算是同一氣體在不同壓強(qiáng)下也會(huì)呈現(xiàn)不同的顏色。如氬氣會(huì)顯現(xiàn)出淡紫色或者藍(lán)色。