大家知道了真空泵是什么，今天和大家來(lái)說(shuō)說(shuō)什么是真空泵組，其實(shí)簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是將2臺(tái)及以上的真空泵所組合在一起，從而形成串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，加快抽真空的一個(gè)速度，小編今天和大家分析分析一般在等離子清洗機(jī)上的真空泵組的分類有哪三大類！

1. 油式泵組

油式泵組是指旋片式真空泵+羅茨泵旋片式組成的泵組，這類泵組一般運(yùn)用于對(duì)潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機(jī)上。其優(yōu)點(diǎn)有很多：比如能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，維護(hù)方便；性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。這種泵組是真空等離子清洗機(jī)中最常見(jiàn)的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。

2. 干式泵組

干式泵組由干式螺桿真空泵+羅茨泵組合成，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級(jí)泵組合成的泵組。一般運(yùn)用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。因?yàn)槎际怯筛墒秸婵毡媒M合而成的，所以不會(huì)出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。

3. 特殊泵組

機(jī)械泵+分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對(duì)真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。分子泵組啟動(dòng)快，抽速非?？?；分子泵組是不會(huì)使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；維護(hù)起來(lái)相對(duì)簡(jiǎn)單。

上述就是等離子清洗機(jī)的最常見(jiàn)的三種泵組的組合，大家如果對(duì)這方面還有什么疑惑或者補(bǔ)充的可以隨時(shí)聯(lián)系我們哦！

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