微波等離子清洗機是一款表面處理設備，能夠處理各類污染物，主要應用在集成電路、半導體等行業(yè)；微波等離子清洗工藝是一種干式精密清洗技術，能夠?qū)ξ⒖住ⅹM縫等細小的空間進行處理，解決這類部位的表面處理難題。

一、微波等離子清洗機原理

微波是因為電源頻率，分別是直流、低頻40KHz、射頻13.56MHz及本文介紹的微波2.45GHz。

利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場將氧、氬、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行表面處理，達到表面清潔活化的目的。

二、微波等離子清洗機優(yōu)勢

1、等離子體清洗對器件無損傷，減少原料消耗；

2、設備成本低，可以自動化進行處理，降低成本；

3、可定制化，能夠針對自己產(chǎn)品進行定制，以達到好的處理效果；

4、一致性強，整個工藝完善后可以確保每個批次處理效果穩(wěn)定；

5、處理范圍廣，不用糾結產(chǎn)品外形，能夠多方位，多方向的進行處理；

微波等離子清洗機作為等離子清洗工藝中一環(huán)，目前應用上不如直流、中頻、射頻等類型廣泛，但是這類設備也有獨特的優(yōu)勢，在未來的市場大有可為。