等離子體表面處理工藝是非常重要的一種表面加工技術(shù),其核心就是利用等離子體在高能量場中的物理、化學(xué)反應(yīng)對材料表面進(jìn)行反應(yīng),達(dá)到改性、活化等處理需求,那么有哪些應(yīng)用方向呢?
1、等離子體清洗:通過等離子體反應(yīng),將表面的污染物、氧化物等物質(zhì)去除,等離子體轟擊或生成揮發(fā)性物質(zhì),通過真空泵去除。
2、等離子體改性:利用等離子體反應(yīng),微觀層次下,材料表面原本的結(jié)構(gòu)發(fā)生改成,生產(chǎn)新的基團(tuán)或者結(jié)構(gòu),從而獲得表面活化、表面親水等效果
3、等離子體刻蝕:通入腐蝕性氣體對表面進(jìn)行等離子體處理,氣體與表面進(jìn)行反應(yīng),腐蝕掉部分,從而形成細(xì)微的結(jié)構(gòu)或者器件。
4、等離子體沉積:利用等離子體的反應(yīng)將內(nèi)部的工藝氣體生產(chǎn)為薄膜,覆蓋于工件表面,達(dá)到表面處理的效果。
整個反應(yīng)工藝需要注意什么呢?
1、注意環(huán)境氣壓、灰塵、溫度、電壓等等因素;
2、需要注意等離子體的能量密度以及均勻性;
3、工藝在處理時想要更好的處理效果,就需要考慮細(xì)節(jié)方面,調(diào)整工藝參數(shù)、氣體配方、電源頻率等等。
等離子體表面處理工藝廣泛的應(yīng)用在金屬、陶瓷、塑料等多種材料上,廣泛應(yīng)用與人類工業(yè)生產(chǎn)制造中。