Plasma就是等離子也叫做電漿，是離子化氣體狀物質(zhì)，尺度大于德拜長度的宏觀電中性電離氣體，人們生活中也經(jīng)常見到，太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，常見的日光燈、霓虹燈中也存在等離子體。

等離子清洗機(jī)是利用等離子體產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)，將工件表面的污染物質(zhì)分解、氧化、還原等化學(xué)反應(yīng)，從而將其清除的一種清洗設(shè)備。常見的等離子清洗機(jī)有干法等離子清洗機(jī)和濕法等離子清洗機(jī)兩種。

plasma清洗機(jī)的原理：設(shè)備通過等離子體進(jìn)行材料表面處理的工作，通過氣體中成分對污染物處理，如：氧化物、碳化物、有機(jī)污染物、無機(jī)污染物等，將它們處理成揮發(fā)性物質(zhì)，通過真空泵排出，達(dá)到表面清洗的目的；等離子體的粒子能量在0~20eV，作用在物體表面時將原本的化學(xué)鍵斷裂，等離子體中自由基與之形成新的結(jié)構(gòu)，帶來表面活化改性的效果。

等離子體中有大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等活性粒子，設(shè)備的各種應(yīng)用都是通過這些微粒達(dá)到的，清洗、活化、刻蝕、氣相沉積等等；

需要注意的是，不同的處理效果對設(shè)備、工藝、處理方式要求是不一樣的；在生產(chǎn)中，需要更具產(chǎn)品實際的使用需求以及工藝處理方式，對設(shè)備進(jìn)行設(shè)計；比如：汽車制造領(lǐng)域、芯片半導(dǎo)體封裝、紡織染色工藝、醫(yī)療器械的處理等等，每個行業(yè)都有自己的處理需求，我們需要對產(chǎn)品進(jìn)行定制以滿足它們的使用需求。