最重要的肯定是等離子源也就是等離子發(fā)生器，它可以將氣體電離成等離子體，產(chǎn)生高能離子對材料表面進(jìn)行清洗、活化，那么它還有哪些元件呢？

1、氣體系統(tǒng)：：提供所需氣體，通常使用的氣體有氫氣、氮氣、氧氣等，其選擇取決于清洗對象的材質(zhì)和表面污染物種類。

2、真空系統(tǒng)：用于將清洗室內(nèi)部的氣體抽出，以便在清洗過程中維持一個合適的真空度。

2-1：真空泵：用于抽真空或破空，對真空室內(nèi)氣壓進(jìn)行調(diào)控；

2-2：真空處理室：產(chǎn)品處理的區(qū)域，也是等離子體作用的地方；

3、控制系統(tǒng)：半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制，不同產(chǎn)品采用不同控制方式；

4、腔體外殼：整個外觀以及產(chǎn)品設(shè)計，好看的外觀是設(shè)備的加分項，同時設(shè)計也需要根據(jù)廠家需求、尺寸、空間、擺放位置等等信息來處理；

5、等離子發(fā)生器：也是等離子源，有不同的頻率，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的。

等離子清洗機(jī)一般為定制類設(shè)備，各類元件需要根據(jù)廠家實際需求、預(yù)算進(jìn)行選擇，達(dá)到產(chǎn)品快速生產(chǎn)的需求。