目前，針對(duì)不同設(shè)備及使用環(huán)境分為4種類(lèi)型，再根據(jù)變色靈敏度要求的不同每個(gè)類(lèi)型又分為高、中、低敏感度。

  通過(guò)各種等離子體處理使本產(chǎn)品變色區(qū)產(chǎn)生顏色變化，在想要確認(rèn)等離子體處理效果的部位設(shè)置該指示卡，可以不利用電、光學(xué)測(cè)量裝置的情況下確認(rèn)等離子體處理效果。

  A型主要適用與O?、N?、Air、CF4、NH3、Ar等自由基性等離子體的檢測(cè)，也適用于UV洗凈和臭氧洗凈?？捎糜诮雍暇€、覆晶線等接合處的表面改性、部分封裝后底部填充前的洗凈和電鍍前表面改質(zhì)以及LSI、存儲(chǔ)器、MEMS、LED等電子設(shè)備對(duì)裝前的洗凈。

  B型等離子體處理指示卡可用于大氣等離子表面處理的檢測(cè)，分為高敏度和低敏感度兩種。主要用于印刷電路板制造、FPD制造和膜加工等大面積處理。

  C型變色部分為無(wú)機(jī)材料，基材為PI材質(zhì)，背膠可承受200攝氏度高溫。具有柔軟性，可自由貼附于基板表面或等離子清洗機(jī)設(shè)備內(nèi)部。處理后會(huì)根據(jù)不同氣體顯示不同的顏色。

  D型主要用于檢測(cè)均勻性，可提高面內(nèi)均一性檢測(cè)效率，對(duì)面內(nèi)差和層間差均可輕松檢測(cè)。

  E型晶圓專(zhuān)用（提高良品率，開(kāi)機(jī)前處理），我們正在研發(fā)中；

本產(chǎn)品的變色區(qū)印刷的色素與各種等離子體反應(yīng)，根據(jù)處理時(shí)間、功率、工藝氣體種類(lèi)和氣體流量等參數(shù)的不同會(huì)產(chǎn)生不同程度的顏色變化。