表面等離子處理通過等離子體對材料進行處理，設備產(chǎn)生的等離子體與待處理材料表面發(fā)生化學、物理等多種變化，表面能、親水性、粘接力等特性都發(fā)生改變，那么表面等離子處理的具體步驟如何？

1. 設備真空狀態(tài)：通過真空泵將處理室內(nèi)空氣抽離，達到真空狀態(tài)；

2. 等離子體產(chǎn)生：通入工藝氣體，維持低壓狀態(tài)，等離子發(fā)生器產(chǎn)生電場，電離工藝氣體生產(chǎn)等離子體。

3. 等離子體處理：待處理的材料置于等離子體環(huán)境中，等離子體與材料表面發(fā)生各種反應。

4. 處理完成：恢復處理室內(nèi)氣壓，打開處理室倉門，取出產(chǎn)品，進入后續(xù)工藝處理。

表面等離子處理設備構(gòu)成：

1. 等離子發(fā)生器：產(chǎn)生等離子體的裝置，通常使用高頻電場或直流電場來產(chǎn)生等離子體。

2. 處理室：用于放置待處理的材料，在等離子體的環(huán)境中進行表面處理。

3. 氣體供應系統(tǒng)：提供等離子體處理過程中所需的氣體，如氮氣、氧氣、氫氣等。

4. 控制系統(tǒng)：控制等離子體產(chǎn)生器、等離子體處理室和氣體供應系統(tǒng)的運行，以實現(xiàn)精確的表面處理。

表面等離子處理工藝在醫(yī)療、汽車、航空航天、高分子材料、芯片制造等等領域中廣泛使用，設備根據(jù)使用環(huán)境、處理材料、應用參數(shù)的變化進行制作，解決不同類型的表面處理難題。