等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體將表面污染物清除的設(shè)備，它的核心部分是真空腔體。真空腔體是等離子清洗機(jī)的重要組成部分，它的結(jié)構(gòu)和原理直接影響著等離子清洗機(jī)的清洗效果和穩(wěn)定性。

一、真空腔體結(jié)構(gòu)

等離子清洗機(jī)的真空腔體由上下兩部分組成，上部為上蓋，下部為下蓋。上蓋和下蓋之間通過(guò)密封圈連接，形成一個(gè)密閉的真空腔體。真空腔體內(nèi)部通常采用不銹鋼材質(zhì)，無(wú)毛刺，以避免污染物在表面殘留。

二、真空腔體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)主要包括

1.等離子發(fā)生器等離子發(fā)生器是等離子清洗機(jī)的核心部分，它通過(guò)高頻電場(chǎng)將氣體轉(zhuǎn)化為等離子體，實(shí)現(xiàn)表面污染物的清除。等離子發(fā)生器通常位于真空腔體的上部，與真空腔體內(nèi)部通過(guò)密封圈連接。

2.樣品架樣品架通常位于真空腔體的下部，用于放置待清洗的樣品。樣品架一般采用不銹鋼材質(zhì)，以避免對(duì)樣品的二次污染。

3.氣體進(jìn)口管和排氣管氣體進(jìn)口管和排氣管分別位于真空腔體的上部和下部，用于向真空腔體內(nèi)輸入氣體和排出處理后的氣體。氣體進(jìn)口管和排氣管一般采用不銹鋼材質(zhì)，以避免氣體在管道中殘留。

三、真空腔體原理

等離子清洗機(jī)的真空腔體采用真空技術(shù)，將真空腔體內(nèi)部的氣壓降一定程度，以保證等離子體在真空環(huán)境下穩(wěn)定產(chǎn)生。真空腔體內(nèi)部的氣體通常通過(guò)抽氣泵進(jìn)行抽取，抽氣泵的種類包括機(jī)械泵、根泵、分子泵等。

在真空腔體內(nèi)部產(chǎn)生等離子體后，等離子體會(huì)與待清洗的樣品表面發(fā)生反應(yīng)，將表面污染物清除。等離子體的種類包括輝光放電等離子體、微波等離子體、射頻等離子體等。

等離子清洗機(jī)的真空腔體是等離子清洗機(jī)的重要組成部分，它的結(jié)構(gòu)和原理直接影響著等離子清洗機(jī)的清洗效果和穩(wěn)定性。真空腔體內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)該盡可能光滑，無(wú)毛刺，以避免表面污染物在表面殘留。真空腔體的原理是通過(guò)真空技術(shù)將氣體壓力降一定程度，利用等離子體與樣品表面反應(yīng)，將表面污染物清除。