在射頻等離子清洗機當中核心部件就是射頻電源和匹配器，如果在使用過程中遇到電源啟動正常而腔體不放電的情況，那么大概率就是因為其中的匹配器工作不正常，那么匹配器到底出了什么問題呢？今天就讓我們來告訴大家。

1、匹配器故障說明

①空氣電容損壞

空氣電容在運行過程中摩擦產生導電雜質，造成局部短路；摩擦導致動片軸損壞，無法正常調節(jié)。

②進口晶體管故障

與空氣電容動片軸損壞有關，空氣電容無法正常工作，射頻輸出阻抗無法調節(jié)，導致晶體管擊穿；在使用過程中，匹配器初始值調節(jié)不當，匹配時間過長或真空腔體內輝光放電不穩(wěn)定也會造成晶體管損壞。

2、匹配器日常使用注意事項

①定期對真空腔體內的插針公母頭進行檢查，防止有嚴重氧化及斷裂現(xiàn)象。

②確認電極板擺放正確，無順序錯誤；在使用過程中如需調節(jié)極板數量及間距，必須確認匹配器自動匹配狀態(tài)，如匹配時間較長，則需調節(jié)初始值。

③定期確認匹配器的初始值，長時間使用可能會出現(xiàn)初始值偏移的狀況，需要定期確認并根據實際情況調整。

④如出現(xiàn)初始值嚴重偏移，則需確認匹配器內部和空氣電容葉片是否錯位及是否有打火現(xiàn)象，如出現(xiàn)此類情況，需及時處理。空氣電容的固定葉片及動片在調到最大時是基本重合的；如出現(xiàn)打火現(xiàn)象，確認葉片有無燒壞，如燒壞可將燒壞位置打磨后再使用，葉片之間的距離太近也會出現(xiàn)打火現(xiàn)象。

⑤如出現(xiàn)電容無法調節(jié)的情況，可打開匹配器，手動控制調節(jié)電容，確認葉片電容能否正常旋轉。需留意電機與空氣電容的傳動部分是否有無法轉動的情況，出現(xiàn)卡死需及時報修，如出現(xiàn)齒輪與軸之間打滑，可先自行處理。

3、其他事項

①匹配器是可長時間運行工作的，平時需注意觀察及清潔。定期對匹配內部空氣電容區(qū)域進行檢查，打開蓋板查看是否有空氣電容摩擦產生的雜質沉積，如有則需用無塵布+酒精的方法清潔，因雜質通常為導電物質不可用氣吹，以免出現(xiàn)打火及控制部分短路。

②當匹配器出現(xiàn)無法正常工作時，需及時確認電極板擺放、插針公母頭、屏弊盒內連接（是否有接觸不良或導電片與外壁接觸和距離過近）、匹配器初始值、內部是否清潔、空氣電容是否錯位和打火、空氣電容能否轉動（是否有打滑）、傳動電機是否能夠工作、RF電源是否有輸出以及各連接段是否短路等情況。如匹配器內有燒焦的味道和以上問題無法解決，請及時與專業(yè)人員聯(lián)系。

③匹配器內部配件的使用周期是無法具體確認的，這與使用環(huán)境、處理產品、使用是否得當等均有關系，主要原因可能是匹配器內雜質造成了短路或打火。

以上就是當射頻電源匹配器出現(xiàn)故障時，該如何進行排查問題的介紹，以及一些日常的維護方法，在射頻等離子清洗機出現(xiàn)問題時我們首先需要做的是冷靜下來問題出現(xiàn)在何處，再逐步解決問題，通過這些希望能對大家有所幫助。

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