真空等離子表面處理機(jī)大家現(xiàn)在也比較熟悉了，但在操作的過程中有時(shí)候會遇到故障或者機(jī)器報(bào)警的問題，不知道如何處理！今天小編給大家羅列出可能會遇到的問題，希望能幫到大家！ 

1. 真空等離子表面處理機(jī)出現(xiàn)泵熱過載保護(hù)

當(dāng)真空等離子表面處理機(jī)出現(xiàn)真空泵熱過載保護(hù)時(shí)，應(yīng)先檢查系統(tǒng)的參數(shù)是否存在問題，當(dāng)設(shè)備突然斷電時(shí)，系統(tǒng)參數(shù)會清零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類的報(bào)警情況。若參數(shù)無變化時(shí)，就需要確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按下復(fù)位鍵，啟動(dòng)真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。若無自動(dòng)保護(hù)，再檢查電氣線路是否有斷路或短路的情況，如若以上均無異常，再檢查真空泵情況。

2. 真空等離子表面處理機(jī)顯示放空氣體壓力過低

在出現(xiàn)此種故障時(shí)，可能是氣體未開啟和氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或者短路。

3. 真空等離子表面處理機(jī)真空泵倒計(jì)時(shí)故障

請檢查真空泵抽空能力，故障排除后再點(diǎn)擊復(fù)位鍵，材料滲氣和真空門未關(guān)到位都會影響真空泵抽空能力，此外還需要逐級檢查離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點(diǎn)，看看是否有管道連接不良或損壞。

4. CDA壓力過低報(bào)警

此報(bào)警也叫破空氣體壓力過低報(bào)警，是因?yàn)閴嚎s空氣的氣壓不足導(dǎo)致的，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥的等離子設(shè)備。出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣到設(shè)備端。確認(rèn)供氣壓力有無過高或者過低，減壓表的報(bào)警值設(shè)定是否正確，此外再對電氣線路進(jìn)行檢查。  

5. 真空計(jì)故障報(bào)警

真空計(jì)故障報(bào)警可能是真空計(jì)損壞造成的，需要檢查真空計(jì)的控制線路是否有斷路或者短路的情況。

6. 真空等離子處理系統(tǒng)的急停未復(fù)位或已按下，需打開急停開關(guān)

此時(shí)需檢查急停是否被按下，如沒有此情況，需檢查急停線路。

了解了這些，相信大家在設(shè)備的操作過程中都會游刃有余的，如果您還有更多的疑問歡迎隨時(shí)聯(lián)系我們哦！

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