真空等離子清洗機(jī)和微波等離子清洗機(jī)有以下區(qū)別：

工作原理

真空等離子清洗機(jī)：利用在真空環(huán)境下，通過在密封容器的兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，使稀薄氣體在電磁場(chǎng)作用下，分子間距及自由運(yùn)動(dòng)距離變長，發(fā)生碰撞形成等離子體，等離子體在電磁場(chǎng)內(nèi)運(yùn)動(dòng)并轟擊被處理物體表面，實(shí)現(xiàn)清洗、刻蝕等效果。

微波等離子清洗機(jī)：利用微波發(fā)生器產(chǎn)生 2.45GHz 左右的微波，通過波導(dǎo)傳輸?shù)椒磻?yīng)腔，在腔內(nèi)形成高頻電磁場(chǎng)，使通入的氣體電離產(chǎn)生等離子體，利用等離子體中的活性粒子與物體表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)來進(jìn)行處理。

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

真空等離子清洗機(jī)：一般由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔體、機(jī)械部分等組成。

微波等離子清洗機(jī)：主要包括微波發(fā)生系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、等離子體反應(yīng)腔、氣體供應(yīng)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。

等離子體特性

真空等離子清洗機(jī)：等離子體密度相對(duì)微波等離子清洗機(jī)較低，其離子能量和密度與激發(fā)頻率有關(guān)，常見的中頻（40kHz）等離子體密度較小。

微波等離子清洗機(jī)：能產(chǎn)生高密度的等離子體，離子濃度高，電子密度可達(dá) 10-100×10^{10} cm^{-1}，氣體電離度在 20%-50%。

處理效果與應(yīng)用

真空等離子清洗機(jī)：適用于面積較大、形狀復(fù)雜的材料清洗，可有效去除真空環(huán)境中的有機(jī)污染物，達(dá)到分子級(jí)清洗效果，廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗、等離子刻蝕、塑料等的表面活化和清洗等。

微波等離子清洗機(jī)：更擅長處理精細(xì)的電子元件、半導(dǎo)體封裝器件等，在半導(dǎo)體行業(yè)用于晶圓表面光刻膠去除、芯片表面清洗等，在醫(yī)療器材制造行業(yè)可提高植入式醫(yī)療器械生物相容性等。

成本與維護(hù)

真空等離子清洗機(jī)：整體成本相對(duì)微波等離子清洗機(jī)可能較低，設(shè)備結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，維護(hù)成本也相對(duì)較低，維護(hù)主要集中在真空系統(tǒng)、電極等部件的檢查和更換。

微波等離子清洗機(jī)：由于微波技術(shù)的復(fù)雜性和對(duì)微波部件的高精度要求，設(shè)備成本較高，對(duì)維護(hù)人員的技術(shù)水平要求較高，維護(hù)時(shí)需要專業(yè)知識(shí)和工具來檢查微波發(fā)生系統(tǒng)、波導(dǎo)等部件。