真空等離子清洗機被廣泛應用于精密電子、半導體、高分子材料等領域，但是如果設備操作不當，大家或許曾經(jīng)遇到過產(chǎn)品二次污染的情況，這不僅浪費時間精力，還帶來了不必要的經(jīng)濟損失。在這里我們通過一個案例來提醒大家，為大家解釋這一情況。

1、問題：某客戶反映在真空等離子清洗設備使用中出現(xiàn)了產(chǎn)品被油污污染的情況，且并不是同一臺設備出現(xiàn)此問題。

2、原因分析：根據(jù)客戶設備操作人員提供的信息及通過對現(xiàn)場進行設備檢查發(fā)現(xiàn)，出現(xiàn)真空室內(nèi)產(chǎn)品受污染的原因為設備出現(xiàn)報警后，設備操作不當導致真空泵產(chǎn)生的部分油氣被倒吸入真空室內(nèi)所至。

3、具體說明：真空等離子清洗機在待機狀態(tài)通常真空泵是運行的，主要是通過高真空氣動擋板閥（擋板閥）的打開與關閉實現(xiàn)對真空室的抽真空功能。在設備運行過程中，如出現(xiàn)真空泵倒計時故障、真空泵熱過載故障、電源偏差及反射過大等報警時，為保護設備關鍵配件不受損壞，設備將自動停機（包括真空泵）。設備報警停機后高真空氣動擋板閥也自然關閉，但真空室內(nèi)仍處于高真空狀態(tài)。如在設備出現(xiàn)故障停機的情況后，操作人員沒有按使用規(guī)范及時的進行破真空或開啟真空泵的動作，而是在自動界面直接點擊啟動按鍵，那么此時高真空氣動擋板閥至真空室內(nèi)處理于高真空狀態(tài)，而高真空至真空泵端為常壓狀態(tài)。此時高真空氣動擋板閥打開后，真空泵端如有殘余的油氣，那么油氣便會受真空室內(nèi)負壓的作用被倒吸入真空室內(nèi)，造成真空室內(nèi)產(chǎn)品的污染。

4、解決方案：

①規(guī)范等離子清洗設備使用人員的操作

當設備出現(xiàn)報警停機時及時進行破真空動作和確認真空泵是否因報警停機；如出現(xiàn)真空泵停機的狀況需將真空泵開啟后再繼續(xù)使用設備。

②增加控制電路的互鎖功能

除對操作人員進行使用規(guī)范外，考慮到人員的流動性及操作規(guī)范的執(zhí)行力等因素，普樂斯也考慮從設備控制方面進行簡單有效的優(yōu)化，增加真空泵啟動與高真空擋板閥啟動間的互鎖功能，保證在真空泵未開啟的狀態(tài)下無法啟動高真空氣動擋板閥，以達到防止誤操作而造成真空室返油的情況。

為了保證產(chǎn)品質(zhì)量，平時必須規(guī)范等離子清洗清洗機使用人員的操作規(guī)范，在設備出現(xiàn)故障應仔細排查問題，再制定出解決方案，進行實際操作將問題解決，恢復等離子清洗機的正常運轉(zhuǎn)。

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