- 中型料盒式等離子清洗機(jī)：主要用于半導(dǎo)體行業(yè)，解決芯片、晶圓等產(chǎn)品表面處理難題，從去除氧化物、粘接等多個角度提供表面處理。
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
觸摸屏操作界面
數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示
三色燈異常報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
遠(yuǎn)程操控，數(shù)據(jù)導(dǎo)出（可選）
模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
v不分處理對象的基材類型，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理。
型號 | PM-110L | PR-110L | |
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
PLC（標(biāo)配）/PC（可選） | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W1000×D1200×H1700mm | |
腔體 | 尺寸 | W500×D500×H450mm | |
材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | ||
電極 | 尺寸 | W490×D417mm | |
層數(shù) | 1-8層，可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金（標(biāo)配）/不銹鋼（可選） | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個；Ar、N2、O2（可選） | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~1000W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 5KW | |
機(jī)臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 | ||
