- 四料盒式等離子清洗機：主要用于半導體行業(yè)的表面處理工作，適用于車間、生產線等多個場合，多料盒模式，處理更加高效。
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)，也叫做物質的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
觸摸屏操作界面
數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
三色燈異常報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
遠程操控，數(shù)據(jù)導出（可選）
特殊電極、氣路設計，均勻性好
平板式、滾輪式載具平臺（可選）
適用半導體封裝引線框架的批量處理
適合于半導體行業(yè)的表面處理
適用于制作車間、生產線等多個場合
多料盒的模式，能夠高效的處理材料
型號 | VPC-500F | ||
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） | |
PLC（標配）/PC（可選） | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機規(guī)格 | 尺寸 | W920×D1030×H1720mm | |
腔體 | 尺寸 | W435×D425×H540mm | |
材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | ||
電極 | 結構 | 組合柜式 | |
分隔數(shù)量 | 4個料盒 | ||
托架 | 材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | |
形狀 | 平板式/滾輪式（可選） | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC質量流量控制器 | 2個；Ar、N2、H2（可選） | |
真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~1000W | 13.56MHz，0~500W |
額定功率 | 整機峰值功率 | 5KW | |
機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、雙級旋片真空泵+羅茨泵（泵組）、托架、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件 | ||
